专利：在太阳能电池基板上脉冲电镀低应力膜层的方法

2009/10/19/09:03 来源：中国知识产权网

【慧聪表面处理网】申请（专利）号:CN200780039493.8 申请日:2007.10.16

公开（公告）号:CN101553933 公开（公告）日:2009.10.07

主分类号:H01L31/00(2006.01)I

分类号:H01L31/00(2006.01)I

优先权:2006.10.24 US 11/552,497

申请（专利权）人:应用材料股份有限公司

地址:美国加利福尼亚

国省代码:美国;US

发明（设计）人:瑟奇·洛帕汀;查尔斯·盖伊;大卫·伊格尔沙姆;约翰·O·杜科维克;尼古拉·Y·科瓦尔斯基

国际申请:2007-10-16 PCT/US2007/081530

国际公布:2008-06-12 WO2008/070290 英

进入国家日期:2009.04.23

专利代理机构:北京律诚同业知识产权代理有限公司

代理人:徐金国;陈红

摘要: 　

本发明实施例可利用电化学电镀方式来形成具有改良的电性及机械性质的低成本太阳能电池金属接点结构。形成在一太阳能电池装置中的互连的电阻会大幅影响太阳能电池的效率。因此，较佳是形成具有低电阻、可靠且具经济效益的联机的太阳能电池。本文所述的一或多个实施例适以利用内含诸如铜的常见金属的电化学电镀方式来形成低成本且可靠的互连层。但是，一般来说，互连层的电镀部分可包括实质纯金属或金属合金层。本文所揭示的方法可用来生成内含具有低内源性应力的导电金属互连层的太阳能电池。　
主权项: 　

1.一种在太阳能电池基板中形成金属互连的方法，包含：
    提供具有一n-型区域或一p-型区域的基板，且该n-型区域或p-型区域通常邻接该基板的一表面；
    形成一种晶层，该种晶层与该基板的该表面上的该n-型区域或该p-型区域电联通；及
    藉由将该种晶层和一电极浸润在一第一电解液内，并且相对于该电极使用一电源输送的一或多个波形来偏压该种晶层，而于该种晶层上形成一第一金属层。