太阳能电池阵互连片抗原子氧侵蚀表面处理

    【慧聪表面处理网】申请号：200810151811.6

    名称：太阳能电池阵互连片抗原子氧侵蚀表面处理工艺

    公开(公告)号：CN101388422

    公开(公告)日：2009.03.18

    主分类号：H01L31/18(2006.01)I

    申请(专利权)人：天津大学

    地址：300072天津市南开区卫津路92号

    发明(设计)人：黄远;万怡灶;何芳;王玉林;吕海峰

    专利代理机构：天津市杰盈专利代理有限公司

    代理人：赵敬

    摘要

    本发明涉及一种太阳能电池阵互连片抗原子氧侵蚀表面处理工艺，包括的步骤是采用TRIM2003程序和修正公式设定进行Al金属离子注入到Ag互连片材料中的注入剂量、Ag互连片材料表面去污和清洗处理、Al金属离子注入到Ag互连片材料后的Ag互连片材料的真空退火处理、Ag互连片材料微观检测和抗原子氧侵蚀测试。本发明提采用真空金属等离子注入技术，将金属元素按照一定能量和剂量注入到经过抛光清洗的Ag互连片材料中，再经过真空高温退火在银互连片中形成一个从内部到表面成分渐变、不脱落的金属注入层。由于注入金属元素和氧原子反应生成的氧化层具有防止原子氧侵蚀的能力，从而在银互连片中产生一个不会脱落、对原子氧防护良好的注入层，同时提高其抗热疲劳特性。

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