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金属蚀刻工艺流程详解
2009/3/30/09:05 来源：中国化工机械网(二)化学蚀刻溶液配方及工艺条件
蚀刻不同的金属要采用不同的溶液配方及工艺条件，常用金属材料的蚀刻溶液配方及工艺条件见表6―4～表6-6。
表6-4金属化学蚀刻溶液的配方及工艺条件
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溶液成分及工艺条件 |
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氯化铁(FeCl3)／(g／L) 盐酸(HCl)／(g／L) 氢氟酸(HF)／(mL／L) 磷酸(H3P04)／(g／L) 硫酸铜(CuS04)／(g／L) 硫酸(HzS04)／(g／L) 硝酸(HN03)／(g／L) 蚀刻加速剂／(g／L) 煤油／(g／L) 溶液温度／℃ 处理时间／min 适用材料 |
800～900 100～120mL／L 80～120 5～8(平整剂) 20～50 15～25 钢铁 |
450～560 5～10mL／L 少量 20～50 模具钢 |
600～800 80～120 20～30 80～100 10～45 15～20 |
600～650 90～100 8～12 15～50 10～15 铜合金 |
450～550 200～300 10～20 20～40 10～20 铸铝 |
表6-5金属铜化学蚀刻溶液配方及工艺条件
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溶液成分及工艺条件 |
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硝酸(HN03)／(mL／L) 硫酸(HzS04)／(mL／L) 铬酐(Cr03)／(g／L) 氯化钠(NaCl)／(g／L) 溶液温度／℃ 蚀刻时问／min |
1000 20 ― 45 20～30 15～20 |
1000 40～50 60～80 10～15 |
― ― 50 400 20～30 15～20 |
50 900～1000 10～20 60～80 10～15 |
表6-6锌铸件化学蚀刻溶液配方及工艺条件
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溶液成分及工艺条件 |
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硝酸(HN03,65％)／(mL／L) 盐酸(HCl，37％)／(9／L) 溶液温度／C 处理时间 |
800～1000 20～30 根据蚀刻深度而定 |
210～240 20～30 根据蚀刻深度而定 |
150～300 25～50 根据蚀刻深度而定 |
