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一种微钻针表面电镀方法及其结构
2008/9/1/10:46  

    申请号:200710003665.8
    名称:微钻针表面电镀方法及其结构
    公开(公告)号:CN101230459
    公开(公告)日:2008.07.30
    主分类号:C23C28/02(2006.01)I
    申请(专利权)人:环宇真空科技股份有限公司
    地址:台湾省台北县五股工业区五权七路45号
    发明(设计)人:黄续镡;周钟霖
    专利代理机构:北京纪凯知识产权代理有限公司
    代理人:王燕秋
    摘要
    本发明涉及一种微钻针表面电镀方法及其结构,其包含下列各步骤:a)提供一微钻针以及一真空腔,将所述微钻针置于所述真空腔内;b)以电弧沉积方式对所述微钻针表面进行沉积,以形成一第一镀膜层;c)以溅射沉积方式对所述第一镀膜层表面进行沉积,以形成一第二镀膜层。由此,本发明提供了微钻针高硬度、低摩擦系数、高稳定性的机械性质,具有耐磨耗以及提高加工精度的特色。 



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