当北方微电子和中科信拿到了中芯国际的订单，当中微在挺进65纳米及45纳米的高端设备市场，当中国的本土设备受到越来越多关注的同时，本土设备商不约而同的面临着一个问题，设备的关键零部件在相当程度上依赖于进口。
零部件加工制造在汽车行业的进展如火如荼，这是利益所趋。对于门槛相对较高的半导体行业，尽管零部件加工利润丰厚，但仍然处于弱势群体。然而这样一个时间点正是发展的契机，中国市场本身处于成长期，格局未定，零部件商的市场份额还在不断调整，这也是零部件厂商“圈地”的好时机。
零部件市场究竟有多大？
据中微（AMEC）Robert Wu介绍，中国、特别是长三角地区有开发高质量供应厂商的充分条件，中微在06年一年内供应商数量提高10％，达到46％。Robert表示，产业对设备业的需求可能会上下起伏，而对备件业的需求永远都呈递增趋势。依据SEMI的估算，中国2004－2008年零部件的年复合增长率（CAGR）高达25％，预计今年中国零部件市场规模将到达3.8亿美元。
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谁愿意来为这预计的3.8亿美元买单呢？当然是Fab和设备商。在追求利润的时代，成本是商家最为关注的问题，而中国制造的低成本优势是得天独厚的。据业内人士介绍，在产能利用率不是很高时，就是fab寻找备选零部件的最佳时机，这样可以利用设备的闲暇时段对零部件进行验证（Qualification）。
而对于本土设备厂商为了提高将来设备的竞争力，更是铆足了劲，不遗余力地培养本土零部件商。据沈阳科仪的姜谦介绍，为了扶持本土零部件商的成长，设备商之间达成资源共享，相互推荐优质的产品，保证零部件商的加工部件数量呈稳定成长趋势。姜谦说，该公司生产的PECVD中有2863件部件，纯本土制造的占到36％，约为整体价格的42.7%（若合计海微公司在中国制造的份额，那么中国制造的件数将达到70％，约占成本的60％左右），其中900件机加工零部件中有90％是国产的，价值也占到90％。这些本土设备的成长将会带动零部件供应链的共同成长。
