名称：在电镀浴中使用金属纳米晶体颗粒形成的复合金属层
公开(公告)号：CN101233264
公开(公告)日：2008.07.30
主分类号：C25D15/02(2006.01)I
申请(专利权)人：英特尔公司
地址：美国加利福尼亚州
发明(设计)人：W·沃尔瓦格;S·穆图库马
专利代理机构：中国专利代理(香港)有限公司
代理人：刘锴;韦欣华
摘要
一种在衬底上形成复合金属层的方法，包括提供第一金属的纳米晶体颗粒，将纳米晶体颗粒添加到包括第二金属的离子的镀覆浴上以形成类胶体的悬浮液，在镀覆浴中浸入衬底，以及在衬底上制生成第二金属和第一金属的纳米晶体颗粒的共沉积以形成一复合金属层。共沉积可以通过在衬底上引入负偏压和施加电流到镀覆浴以诱发电镀过程而制造。在电镀过程中，第二金属的离子通过衬底而还原且在衬底上与第一金属的纳米晶体颗粒共沉积以形成复合金属层。
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