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申请号：200720002160.5

    名称：用于电镀机的传送系统

    公开(公告)号：CN201080507

    公开(公告)日：2008.07.02

    主分类号：C25D17/28(2006.01)I

    申请(专利权)人：亚洲电镀器材有限公司

    地址：中国香港新界大埔大埔工业村大喜街11号

    发明(设计)人：黄志荣;李家立;陈嘉文

    专利代理机构：北京纪凯知识产权代理有限公司

    代理人：程伟

    摘要

    本申请公开了一种用于电镀机的传送系统(10)，该系统包括至少两行处理槽(18a、18b、20a、20b、22a、22b、24a、24b)，其执行相同处理过程并且彼此平行布置，第一穿梭单元(26)，其在处理槽(18、，18b、20a、20b、22a、22b、24a、24b)的上游，以用于选择性地将衬底传送到两行处理槽(18a、18b、20a、20b、22a、22b、24a、24b)的任意一个，和第二穿梭单元(28)，其在处理槽(18a、18b、20a、20b、22a、22b、24a、24b)的下游，以用于选择性地接收在两行处理槽(18a、18b、20a、20b、22a、22b、24a、24b)的任意一个中被处理的衬底。