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    金属蒸汽真空弧（MEVVA）离子注入是一种先进的强流、大面积视线加工处理新技术。设备配置了MEVVA离子源，它将工作介质（各种金属、碳、导电化合物）作为阴极，进行真空弧放电产生高密度等离子体，在高真空静电场下，引出并加速形成高能强流金属离子束，载能离子轰击注入被处理工件表面，引起材料表面成份和结构变化，从而提高耐磨、耐蚀、抗疲劳等性能，达到延长寿命、节约材料和降低成本之目的。由于该技术处理温度较低（<300℃），不改变工件的外型尺寸和表面光洁度，特别适用于处理高精度部件，如工模具和精密运动部件等。它在金属、陶瓷和聚合物材料表面改性中有广泛应用前景，如对麻花钻头的改性已实现商品化生产。

    该技术的关键是MEVVA离子源，该源利用真空弧放电原理产生高密度金属等离子体，经三电极系统引出形成高能强流金属离子束。它能产生几乎所有金属元素和碳的离子束，流强大、束斑大、注入机结构简单紧凑、成本低效率高、工作稳定可靠。

经金属蒸汽离子真空弧离子注入处理的片铣片

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    设备主要技术指标：

    离子种类：各种金属离子、碳离子

    单电荷离子能量：20-50KEV

    平均束流强度：50mA

    引出直径：φ180mm

    靶上束斑直径：φ50mm