申请号：200480022261.8

    名称：极高能、高稳定性的气体放电激光的表面处理系统

    公开(公告)号：CN101160698

    公开(公告)日：2008.04.09

    主分类号：H01S3/22(2006.01)I

    申请(专利权)人：TCZ私人有限公司

    地址：新加坡新加坡市

    发明(设计)人：P·P·达斯;B·E·鲍利格;P·帕特尔;B·C·克莱恩;P·C·梅尔切;R·B·萨特瑞

    专利代理机构：上海专利商标事务所有限公司代理人：钱慰民

    摘要

    揭示了一种气体放电激光结晶装置和方法，用于执行工件衬底中晶体组成或方向的转变，该装置和方法可包括：多腔室激光系统，该系统包括第一激光单元，以及激光定时和控制模块，所述激光定时和控制模块用于在3纳秒左右创建传送第二放电区域的气体放电，并且作为POPO，组合光学器件组合各输出光束并定时在预定时间的3纳秒左右创建组合输出中的脉冲间隔。