介绍了几种沉积氮化钛涂层的新技术。利用辅助磁场消除多弧离子镀沉积氮化钛膜层中的熔滴，细化膜层组织；安装平面大弧源和柱状弧源的多弧离子镀膜机，使多弧离子镀膜机结构简化、操作简便；采用非平衡磁控溅射源扩展了镀膜室内等离子体范围，有利于磁控溅射沉积氮化钛超硬涂层。

    1、前言

    氮化钛膜作为超硬涂层用于提高工模具的使用寿命的历史已经有2-余年。目前，能够进行产业化沉积氮化钛涂层的沉积技术主要有三极磁控溅射、活性反应离子镀、空心阴极离子镀、热丝弧离子镀、多弧离子镀。在这些沉积技术中以多弧离子镀的金属离化率最高、金属离子流密度最高，最容易获得氮化钛等化合物涂层。

    由于多弧离子镀技术已经成为沉积氮化钛超硬涂层的重要技术，因此大家对它的研究、改进做了大量工作。

    2、消除熔滴、细化膜层组织

    2.1在靶面附近设直线型磁场

    2.2在靶面附近设偏转型磁场

    3、简化多弧离子镀膜机结构

    3.1矩形平面大弧源多弧离子镀膜机

    3.2柱状弧源多弧离子镀膜机

    4、新型非平衡磁控溅射离子镀膜机

    4.1平衡磁控溅射

    4.2非平衡磁控溅射