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日商电子利用薄膜镀膜设备开展新服务
2006年8月2日 9:14  来源:日经BP社

    日商电子面向需要对少量元件和材料进行镀膜的企业和镀膜技术研发企业等推出了一项服务,即使用新加坡纳峰精密设备国际(NanofilmTechnologiesInternational)开发的薄膜镀膜设备“FCVA(FilteredCathodicVacuumArc)镀膜设备”在模具和各种元件示进行镀膜。通过使用此服务,不需大规模设备投资,即可尝试或运用各种镀膜。

    FCVA方式的优点是能够形成比PVD(PhysicalVaporDeposition,物理蒸镀)方式和CVD(ChemicalVaporDeposition,化学蒸镀)方式形成的膜更薄的膜。比如碳类膜,能够进行厚1.5nm的镀膜。另外,与前2种方式相比,硬度可达到4倍,附着度为2倍,摩擦系数为1/2。而且还可进行低温加工,具有良好的耐磨性、耐腐蚀性和起模性。

    所提供的加工服务括4类:(1)在各种金属元件和材料上蒸镀碳类膜;(2)在塑料元件上直接蒸镀锡合金和铬等薄膜;(3)可设置各种透过率;(4)非导电性镀膜。除之此外,还可在半导体封装模具上形成MiCC膜,在模具和成形工具上形成ta-C(TM)膜。

    日商电子自2004年3月开始销售该镀膜设备和“FCVA镀膜设备用汽化源。此次,通过提供服务,希望扩大FCVA方式的应用范围。

 
 [关键词]:镀膜 表面处理  发表评论    【推荐】 【打印

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