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美国诺发系统公布UV热处理设备详情
 
慧聪网   2005年12月20日9时26分   信息来源:日经BP网    

UV热处理设备“SOLA”

UV热处理设备“SOLA”

UV热处理设备“SOLA”

使用4个处理腔

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美国诺发系统公司公布了利用UV灯通过热处理对薄膜材料进行改质的设备“SOLA”的详情。

  该设备大体有2种用途。一是增强应变硅技术使用的SiN保护层应力。主要从65nm工艺(hp90)开始使用。另一种是去除low-k(低介电常数)膜中的Porogene,使之转化成多孔质膜。主要在45nm工艺(hp65)中使用。

  最大的特点是采用了名为“MSST(Multistation Sequential Treatment)”的技术,该技术使用4个处理腔对每枚晶圆进行4次处理。由于每次处理都会将晶圆转动90度,因此能够减少因灯的配置问题而产生的处理不均匀的情况。

  该设备的另一个特点是可以单独销售。其他公司都是和成膜设备配套销售,而诺发认为分开销售不仅能够单独对工艺进行优化,还可降低成本。该公司表示,单独销售还有可能使用户找到上述2种用途以外的其他使用方式。设备价格为200万美元(发布资料)。

 

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作者:木村 雅秀 
 
 
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[热门关键词]:UV 热处理 表面处理 
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