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基板原材的表面处理装置
 
慧聪网   2005年10月11日11时16分   信息来源:中华人民共和国知识产权局    

【名称】:基板原材的表面处理装置   

【公开(公告)号】:1658737  

【公开(公告)日】:2005.08.24  

【申请(专利权)人】:东京化工机株式会社  

【发明(设计)人】:新山喜三郎;绿川昌广;菅原清司 

【摘要】:本发明提供一种基板原材的表面处理装置,该装置可提高处理精度及处理能力,且使喷射了的处理液在基板原材上左右圆滑地流动,从此点看可提高处理精度及处理能力,而且可防止输送故障,从此点看也可提高处理精度及处理能力。该表面处理装置(7)具有调节机构(11),该调节机构对从喷嘴(10)喷射出的处理液B,在中途进行区域调节,将基板原材A的喷射图形L调节成规定前后宽度。也就是,作为调节机构使用保留前后间隔P的对置的一对限制板(22)。进而,将前后左右配置的喷嘴(10)向左右倾斜的同时,倾斜地配置,而且前后不重叠地排列,另外,对于输送机(9)采用了上面的直辊(12)组和下面的齿形辊(13)组。  

 
 
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