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电弧蒸发器,驱动电弧蒸发器的方法及离子电镀设备
 
慧聪网   2005年8月24日16时38分   信息来源:中华人民共和国知识产权局    

【名称】:电弧蒸发器,驱动电弧蒸发器的方法及离子电镀设备   

【公开(公告)号】:1632160  

【公开(公告)日】:2005.06.29  

【申请(专利权)人】:新明和工业株式会社;西铁城时计株式会社  

【发明(设计)人】:泷川志朗;能势功一;小泉康浩;堀崇展;宫行男  

【摘要】:一种电弧蒸发器,包括:阳极;作为阴极的蒸发源电极;以及用于产生穿过阳极和蒸发源电极的AC方波电弧电流的电流控制单元。  

 
 
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